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製品例
HM-R
世界初!回転検出機能付
高真空用 磁気結合式回転導入機
HM-Rシリーズ
 
クリーンバキューム
すべての真空内部機構部品のシステマティックな制作・開発が私たちの目的とするところです。今日の真空技術の発展は、目を見張るほどのめざましいものですが、私達はこの技術発展に充分お応えするべく常に技術を磨き、よりよい製品をお届けするため、日々努力を惜しみません。
何卒、ご支援のほど、お願い申し上げます。
ハイメタル工業株式会社 代表取締役 江森昭夫

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特長

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真空側回転シャフトに特殊マグネットチップを配置し、これを検出する高性能磁気近接センサを外部(大気側)に持つ高真空用磁気結合式回転導入機です。
特許出願中/特願2004-83921(日本),国際特許出願中
転状態のマグネットチップを周期的に検出することが可能なため、被駆動物が確実に動作していることを確認できます。
HM-Rシリーズに使用のセンサはDC12VまたはDC24Vを供給することにより信号出力が可能ですのでシーケンサ、PC等に信号を取り込み、回転状態を制御またはモニタすることが可能です。
HM-Rシリーズは、特に高真空または清浄雰囲気中で使用することを主眼におき"清浄"であることを第一に考えておりますので、10-6Pa以下の高真空領域まで安心して使用できます。
オールメタル製ですので200℃以下のベーキングが可能です。(但し磁気近接センサはベーキング不可)
用途
特殊雰囲気、高真空チャンバ内の駆動伝達で真空側軸が確実に動作していることを確認することが必要な場合。特殊雰囲気または真空内に別途確認用センサが不要になり、コストダウンにつながります。
回転数をカウントすることにより移動距離を制御することが可能になります。すなわち、回転をラックアンドピニオン等で直線移動に変換した場合、その移動距離をHM-Rシリーズ付属のセンサにて制御することが可能になります。
その他、直線運動用伝達および位置決めが必要な機構向け。
装着例1
真空蒸着装置・スパッタ装置の治具回転駆動用

通常、蒸着・スパッタ装置等の基板治具は所定の膜厚分布を得るために、ある回転数にて真空チャンバ内を回転しています。この回転が何らかの原因で止まった場合、基板の膜厚分布が異常になり製品として使用不可能になります。HM-Rシリーズを使用することにより回転異常を即座に検出し、次行程に移る前に不具合を検出し、損害を最小限にとどめることが可能です。
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装着例2
液晶パネル加熱ファン等の回転検出及び移動位置検出

液晶パネルは液晶を注入する前に加熱を行う場合があります。この時、高純度のガス雰囲気中にて基板温度を一定にするため、加熱ガスを攪拌する必要があります。この攪拌用のファン駆動導入用にHM-Rシリーズを使用することにより、ファンそのものの回転をモニタすることが可能になり、異常があった場合、素早い対応が可能になり信頼性が飛躍的に高くなります。また、基板の駆動及び位置検出も可能です。
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